電子半導體行業如何做好AMC防控
- 2023-12-22
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- 深圳市億天凈化技術有限公司
氣態分子污染物(AMC)已經成為影響半導體產品質量的重要因素,主要表現為表面分子污染,這是由氣態分子和特定表面作用而形成非常薄的化學膜,化學膜通常改變產品表面的物理、電子、化學和光學特性而導致質量缺陷,造成產品良品率下降。
AMC種類復雜,根據SEMI發布的標準中將AMC分為四類:1.酸性分子污染物:如HF、SO2、CL2等;2.堿性分子污染物:如NH3等;3.有機化合物:如SiH4,碳氫化合物等;4.摻雜物:如磷(P)、硼(B)等。
AMC可能來源于無塵室外的汽車排氣、大氣臭氧、工廠排放等,或是潔凈室內的化學溶劑揮發、蝕刻酸氣、塑料制品溢散等,由于來源非常廣泛,污染物種類繁多,因此如何進行有效防控已經成為行業的一大難題。
考慮到內部和外部AMC污染源的濃度,半導體行業控制AMC需要從多方面來進行。首先對生產環境進行評估,確定環境中的氣態污染物種類和污染程度,然后定制污染控制方案,在新風處理機組(MAU)和風機過濾單元(FFU)上安裝化學過濾器,達到多重去除AMC的效果,為了實時掌握AMC含量濃度,還需搭建AMC化學污染物在線監測系統,進行實時監測。
AMC化學污染物在線監測系統
半導體行業AMC控制是一項重要且復雜的任務,除了以上的控制措施,還應加強生產設備的維護和清潔,定期檢查和更換可能引起AMC污染的部件,提高對AMC控制的認識、了解AMC的影響,知道如何正確操作和維護設備以減少AMC污染的可能性。此外,建立規范的操作流程和標準,確保每個生產步驟都符合AMC控制的要求,來有效降低AMC的濃度,保證半導體制造過程的穩定性和產品質量的可靠性。
億天凈化可以提供空氣質量控制、檢測、監測一站式綜合服務,為電子半導體生產提供定制化的AMC解決方案,高效去除AMC